[发明专利]质量分析装置有效
| 申请号： | 201180006963.7 | 申请日： | 2011-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN102725818A | 公开（公告）日： | 2012-10-10 |
| 发明（设计）人： | 杉山益之;桥本雄一郎;长谷川英树 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J49/10 | 分类号： | H01J49/10;G01N27/62;G01N27/68 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 张敬强;严星铁 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供质量分析装置，其特征在于，具有：第一电极（11）；第二电极（12）；设于第一电极与第二电极之间且具有试样的导入部以及排出部的电介质部（10）；电源，其对第一电极与第二电极中的任意一方施加交流电压，并利用产生于第一电极与第二电极之间的放电来对试样进行离子化；以及对从排出部排出的离子进行分析的质量分析部，利用在减压条件下的电介质阻挡放电来对试样进行离子化。根据本发明，能够进行高灵敏度且碎裂少的离子化。 | ||
| 搜索关键词： | 质量 分析 装置 | ||
【主权项】：
一种质量分析装置，其特征在于，具有：第一电极；第二电极；电介质部，其设于上述第一电极与上述第二电极之间，并具有试样的导入部及排出部；电源，其对上述第一电极与上述第二电极中的任意一方施加交流电压，并利用产生于上述第一电极与上述第二电极之间的放电来对上述试样进行离子化；以及质量分析部，其对从上述排出部排出的离子进行分析，上述放电在2Torr以上300Torr以下进行。
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