[发明专利]感光性树脂组合物、固化膜、固化膜的形成方法 、有机EL显示装置及液晶显示装置

摘要

本发明提供一种感光性树脂组合物，其含有下述共聚物、具有肟磺酸酯基的特定结构的光产酸剂、增感剂以及溶剂，所述共聚物包含具有选自被酸分解性基团保护的羧基及被酸分解性基团保护的酚性羟基中的至少1个的结构单元(1)和具有选自环氧基及氧杂环丁烷基中的至少1个的结构单元(2)。

主权项

1.一种感光性树脂组合物，其含有：(A)共聚物，该共聚物包含具有选自被酸分解性基团保护的羧基及被酸分解性基团保护的酚性羟基中的至少1个的结构单元(1)和具有选自环氧基及氧杂环丁烷基中的至少1个的结构单元(2)；(B)选自下述通式(I)、通式(OS-1)、通式(OS-3)、通式(OS-4)及通式(OS-5)所示的光产酸剂中的至少1种光产酸剂；(C)增感剂；以及(D)溶剂，R^1A-C(R^2A)=N-O-SO₂-R^3A    (I)通式(I)中，R^1A表示碳原子数为1～6的烷基、碳原子数为1～4的卤代烷基、苯基、联苯基、萘基、2-呋喃基、2-噻吩基、碳原子数为1～4的烷氧基或氰基，当R^1A为苯基、联苯基、萘基或蒽基时，这些基团还可被选自卤原子、羟基、碳原子数为1～4的烷基、碳原子数为1～4的烷氧基及硝基中的取代基取代，R^2A表示碳原子数为1～10的烷基、碳原子数为1～10的烷氧基、碳原子数为1～5的卤代烷基、碳原子数为1～5的卤代烷氧基、可被W取代的苯基、可被W取代的萘基或可被W取代的蒽基、二烷基氨基、吗啉基或氰基，R^2A与R^1A还可相互键合而形成5元环或6元环，该5元环或6元环还可以与可具有1个或2个任意取代基的苯环连接，R^3A表示碳原子数为1～10的烷基、碳原子数为1～10的烷氧基、碳原子数为1～5的卤代烷基、碳原子数为1～5的卤代烷氧基、可被W取代的苯基、可被W取代的萘基或可被W取代的蒽基，W表示卤原子、氰基、硝基、碳原子数为1～10的烷基、碳原子数为1～10的烷氧基、碳原子数为1～5的卤代烷基或碳原子数为1～5的卤代烷氧基，通式(OS-1)中，R¹表示氢原子、烷基、链烯基、烷氧基、烷氧基羰基、酰基、氨基甲酰基、氨磺酰基、磺基、氰基、芳基或杂芳基，R²表示烷基或芳基，X表示-O-、-S-、-NH-、-NR⁵-、-CH₂-、-CR⁶H-或-CR⁶R⁷-，R⁵～R⁷各自独立地表示烷基或芳基，R²¹～R²⁴各自独立地表示氢原子、卤原子、烷基、链烯基、烷氧基、氨基、烷氧基羰基、烷基羰基、芳基羰基、酰胺基、磺基、氰基或芳基，通式(OS-3)～通式(OS-5)中，R¹表示烷基、芳基或杂芳基，多个存在的R²各自独立地表示氢原子、烷基、芳基或卤原子，可多个存在的R⁶各自独立地表示卤原子、烷基、烷氧基、磺酸基、氨基磺酰基或烷氧基磺酰基，X表示O或S，n表示1或2，m表示0～6的整数。