[发明专利]边缘基座的侧垫设计

摘要

本发明描述了一种方法及设备，用于促进研磨垫的研磨表面的均衡调节。此设备包括延伸装置，此延伸装置耦接至邻近研磨垫的外周边缘的基部，且所述研磨垫调适成支撑调节装置；此延伸装置包括主体，此主体可相对于所述研磨垫移动，及耗蚀性衬垫，此耗蚀性衬垫包含耦接至上述主体的安装表面的研磨材料。

主权项

一种设备，包含：基部，所述基部具有耦接至所述基部上表面的可旋转研磨垫，所述研磨垫具有研磨表面及外周边缘；调节装置，所述调节装置调适成以延伸超过所述外周边缘的扫描图案相对于所述研磨表面移动；以及延伸装置，所述延伸装置耦接至邻近所述研磨垫的所述外周边缘的基部，且所述延伸装置调适成在所述调节装置处于所述扫描图案的至少一部分时支撑所述调节装置，所述延伸装置包含：主体，所述主体可相对于所述研磨垫移动；以及耗蚀性衬垫，所述耗蚀性衬垫包含研磨材料，所述耗蚀性衬垫耦接至所述主体的安装表面，其中所述主体及耗蚀性衬垫中的一个或两个包括索引特征结构。