[发明专利]用以于化学机械研磨期间减少基材边缘应力的基板固持件

摘要

本发明的实施例一般关于化学机械研磨基材的方法。该方法一般包含：将待研磨的第一基材耦接至伪基材；及移除第一基材背侧的部分以减少第一基材的厚度。第一基材及伪基材系置于承载头组件中，该承载头组件包括可膨胀膜及支撑环。第一基材系放置与研磨垫接触，以减少第一基材背侧的表面粗糙度。支撑环限制可膨胀膜的侧向移动，以防止第一基材接触承载头组件的内侧表面。支撑环经调整尺寸以允许可膨胀膜于承载头组件内的垂直移动。

主权项

一种方法，该方法包括以下步骤：耦接一第一基材至一第二基材，该第一基材具有一第一表面及一第二表面，该第一表面与该第二基材接触且该第二表面系相对该第一表面；放置该第二基材及该第一基材于一承载头组件中，该承载头组件包括：一可膨胀膜，该可膨胀膜与该第二基材接触；及一支撑环，该支撑环系配置环绕于该可膨胀膜；及将该第一基材的该第二表面接触至一研磨垫，以减少该第一基材的该第二表面的表面粗糙度。