[发明专利]氧化炉的端面密封部件

摘要

本发明提供了一种炉，该炉含有炉腔，产品通过炉腔时即经过处理。该炉的炉壁上有孔，产品在处理过程中通过所述孔来回地穿入和穿出炉腔。该炉的前腔邻接于炉壁，包围回流空气导管；所述回流空气导管将环境气体吸入前腔内，并且工艺气体通过至少一个炉壁上的孔从炉腔内进入前腔。该炉的喷嘴位于前腔和炉腔的外部，与所述回流气体导管相流通。所述喷嘴接收由回流气体导管吸入的气体，并引导所混合的其他大致朝向至少一个前腔孔，周围气体可通过前腔孔槽进入前腔，形成临近于至少一个孔的空气幕。

主权项

一种炉，其包括：炉腔，产品通过所述炉腔而被处理，所述产品在炉腔中被暴露于期望的处理温度和工艺气体中；炉壁，所述炉壁上有多个孔，所述产品通过孔穿入和穿出炉腔；前腔，所述前腔邻接于炉壁，并且通过炉壁至少部分地与炉腔分离，所述前腔包括至少一个孔，大气通过该孔从炉的周围环境中进入前腔；回流气体导管，所述回流气体导管位于所述前腔内，用来吸入空气幕气体，所述空气幕气体含有以下气体的至少一种的一部分：    从炉腔通过炉壁上多个孔的至少一个进入前腔的工艺气体，以及    从周围环境中进入前腔的环境气体，其中工艺气体的温度相对高于环境气体；和喷嘴，所述喷嘴置于前腔的外部，并邻接于至少一个前腔上的孔，并与回流气体导管流体连通，用于接收至少一部分由回流气体导管引入的空气幕气体，并且引导空气幕气体大致朝向前腔上的至少一个孔，以在邻近于所述至少一个孔处形成空气幕；所述空气幕干扰工艺气体和环境气体中的至少一种通过至少前腔上的孔从前腔向外流入周围环境中。