[发明专利]感光性树脂组合物、结构体的生产方法和液体排出头有效

专利信息
申请号: 201180008124.9 申请日: 2011-02-01
公开(公告)号: CN102754028A 公开(公告)日: 2012-10-24
发明(设计)人: 高桥表;池龟健;下村雅子 申请(专利权)人: 佳能株式会社
主分类号: G03F7/004 分类号: G03F7/004;B05C5/00;B41J2/05;C09K3/00
代理公司: 北京魏启学律师事务所 11398 代理人: 魏启学
地址: 日本东京都大*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种感光性树脂组合物,其包括(a)在酸的存在下可聚合的化合物;和(b)包括具有由下式(b1)表示的阳离子部分结构和由下式(b2)表示的阴离子部分结构的鎓盐的光酸产生剂,其中组分(b)吸收由所述感光性树脂组合物吸收的波长365nm的光中的50%以上。
搜索关键词: 感光性 树脂 组合 结构 生产 方法 液体 出头
【主权项】:
1.一种感光性树脂组合物,其包括:(a)在酸的存在下可聚合的化合物;和(b)包括具有由下式(b1)表示的阳离子部分结构和由下式(b2)表示的阴离子部分结构的鎓盐的光酸产生剂,其中组分(b)吸收由所述感光性树脂组合物吸收的波长365nm的光中的至少50%,[化学式1]其中R1至R3各自独立地表示1-30个碳原子的有机基团;R1至R3表示包含至少两个氧原子和包括选自噻吨酮骨架、9,10-二烷氧基蒽骨架或蒽醌骨架的至少一个有机基团的结构;X选自碳原子、氮原子、磷原子、硼原子和锑原子;Y为选自-S(=O)2-、-CF2-O-、-CF2-C(=O)-、-CF2-C(=O)-O-和-CF2-O-C(=O)-的至少一个,或者X和R4彼此直接键合;R4表示1-30个碳原子的烃基,条件是当Y表示-S(=O)2-或单键时,由R4表示的烃基具有至少一个氟原子;和当X表示碳原子时,m和n表示满足m+n=3和n=0-2的整数,当X表示氮原子时,m和n表示满足m+n=2和n=0-1的整数,当X表示磷或锑原子时,m和n表示满足m+n=6和n=0-6的整数,或者当X表示硼原子时,m和n表示满足m+n=4和n=0-3的整数。
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