[发明专利]基板保持用具、基板输送装置及基板处理装置

摘要

本发明提供基板保持用具、基板输送装置及基板处理装置。基板保持用具也不受基板的背面状态、翘曲的影响，即使基板的位置在输送体的载置面上有一些偏移，也能以正确的姿势稳定地保持基板。在该基板保持用具（50）保持半导体晶圆（W）的周缘部时，该基板保持用具（50）的垫主体（52）上的一部分草状突起部（54）的隐藏在半导体晶圆（W）之下，其余的草状突起部（54）暴露出到半导体晶圆（W）之外。并且，隐藏在半导体晶圆（W）之下的突起部（54）与半导体晶圆（W）的背面（WB）接触，使半导体晶圆（W）在重力的作用下下沉恰好的深度，主要沿纵向保持半导体晶圆（W）。另外，在半导体晶圆（W）的周缘部附近暴露出的突起部（54）中的若干突起部（54）与半导体晶圆（W）的侧面（WS）接触，主要沿横向保持半导体晶圆（W）。

主权项

一种基板保持用具，其安装在用于输送被处理基板的输送体的载置面上，与上述基板的基板周缘部接触来保持上述基板，其中，该基板保持用具具有：板状或块状的垫主体，其固定在上述输送体的载置面上；多个突起部，其自上述垫主体延伸，能够弹性变形，上述多个突起部中的一部分突起部保持上述基板的背面，上述多个突起部的中另一部分突起部保持上述基板的侧面。