[发明专利]加速计及其制造方法有效
| 申请号： | 201180008725.X | 申请日： | 2011-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN102762992A | 公开（公告）日： | 2012-10-31 |
| 发明（设计）人： | 海尔特·伦格瑞斯;伊丽丝·博米纳-西尔金斯;特温·范利庞 | 申请（专利权）人： | NXP股份有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P15/18;G01P15/08 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王波波 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | MEMS加速计使用两个电极层之间的电容性传感。电极层之一具有配置为两对电极的至少四个独立电极，一对相对电极与另一对相对电极正交地排列，使得可以检测隔膜的倾斜和隔膜的法向移动。按照这种方式，可以由单独的悬置质量体形成三轴加速计，并且通过使用都在相同平面内的一组电容器电极。这意味着制造是简单的，并且与诸如MEMS麦克风之类的其他MEMS制造工艺兼容。 | ||
| 搜索关键词： | 加速 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种MEMS加速计，包括：衬底(70)；悬置于开口上的隔膜(74)，所述开口延伸穿过所述衬底(70)，其中所述隔膜(74)限定了第一电极层，以及第二电极层(76)，设置在所述隔膜(74)上并且与所述隔膜间隔开，其中沿所述隔膜的法向对所述隔膜施加的力引起所述隔膜(74)和所述第二电极层(76)之间间距的变化，其特征在于：所述第二电极层(76)包括包含下部绝缘体、导体(80)和顶部绝缘体在内的叠层，并且对所述导体(80)进行构图以限定配置为两对相对电极的至少四个独立电极，其中一对相对电极与另一对相对电极正交地排列，使得能够检测所述隔膜绕一对相对电极之间的轴的倾斜以及所述隔膜(74)的法向移动，并且其特征在于所述隔膜(74)限定了单独的电极。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于NXP股份有限公司，未经NXP股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201180008725.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
