[发明专利]暗视野像差矫正电子显微镜在审
| 申请号： | 201180008909.6 | 申请日： | 2011-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN103843105A | 公开（公告）日： | 2014-06-04 |
| 发明（设计）人： | 克里斯多夫·书源翁;安德鲁·布利罗齐;保罗·约翰·达布罗维斯基 | 申请（专利权）人： | 摩奇有限公司(d/b/aVoxa) |
| 主分类号： | H01J37/153 | 分类号： | H01J37/153;H01J37/26 |
| 代理公司： | 广东广和律师事务所 44298 | 代理人： | 王峰 |
| 地址： | 美国华*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种穿透式电子显微镜，包括一电子束源(20)以产生一电子束，以电子束用光学组件聚集该电子束；一像差矫正器(90)至少矫正该电子束之球面像差；一位于该电子束路径上的一试片座，用来设置一试片(40)；一侦测器(80)用于侦测穿过该试片之电子束。该穿透式电子显微镜操作于晴视野模式下，其中第零阶电子束并不予以侦测。该穿透式电子显微镜并可操作在非同调照射模式下。 | ||
| 搜索关键词： | 视野 矫正 电子显微镜 | ||
【主权项】：
一种穿透式电子显微镜，包含：一电子束源，用以产生一电子束；一电子束用光学组件，用以收敛该电子束；一像差矫正器，用以矫正该电子束之至少一种球面像差；一试片座，用以设置一试片，并位于该电子束路径上；以及一侦测器，用以侦测穿过该试片之电子束，其中，所述之穿透式电子显微镜适于在暗视野模式下操作，该模式中该电子束的第零阶不侦测。
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