[发明专利]层叠体及其制造方法无效
申请号: | 201180012439.0 | 申请日: | 2011-03-02 |
公开(公告)号: | CN102791476A | 公开(公告)日: | 2012-11-21 |
发明(设计)人: | 木原直人;中尾卓也;有贺广志;志堂寺荣治 | 申请(专利权)人: | 旭硝子株式会社 |
主分类号: | B32B9/00 | 分类号: | B32B9/00;B32B27/30;C23C14/08;C23C16/40;H01L31/04 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 冯雅 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供耐候性、防湿性优异,层间的密合性及其长期稳定性也优异的层叠体及其制造方法。本发明的层叠体的特征是,依次层叠有含有氟树脂的基材板、密合层和以选自无机氧化物、无机氮化物及无机氧氮化物的至少1种无机化合物为主成分的防湿层,上述密合层由选自氧化锆、氧化钽及氧化铪的至少1种金属氧化物构成。 | ||
搜索关键词: | 层叠 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种层叠体,其特征在于,依次层叠有含有氟树脂的基材板、密合层和以选自无机氧化物、无机氮化物及无机氧氮化物的至少1种无机化合物为主成分的防湿层,所述密合层以选自氧化锆、氧化钽及氧化铪的至少1种金属氧化物为主成分。
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