[发明专利]太阳能电池的电极形成系统及太阳能电池的电极形成方法有效

专利信息
申请号: 201180012710.0 申请日: 2011-03-18
公开(公告)号: CN102792458A 公开(公告)日: 2012-11-21
发明(设计)人: 田中哲矢;大武裕治 申请(专利权)人: 松下电器产业株式会社
主分类号: H01L31/04 分类号: H01L31/04
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 葛飞
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供可改善生产率的用于太阳能电池的电极形成系统和用于太阳能电池的电极形成方法。用于太阳能电池的电极形成系统(10)和用于太阳能电池的电极形成方法以形成太阳能电池所用的基底构件(11)的电极,其包括:丝网印刷工艺,其中,金属掩模(1)包括构造为覆盖基底构件(11)的一部分表面的覆盖部分、构造为允许基底构件(11)的部分从其暴露的多个开口部分和沿着与开口部分之间的电路图案的纵向方向相交方向设置的桥部分,在金属掩模安装在基底构件(11)的表面上后,用于形成电极的膏(14)由药筒类型的橡胶刮板头(13)在给定压力下提供到金属掩模的上表面,而具有给定长度的橡胶刮板(14)相对滑动在金属掩模(1)的上表面上;以及烘焙工艺,其中以给定的结构设置在基底构件(11)的表面上的膏烘焙为形成作为电极的膏。在丝网印刷工艺中,橡胶刮板头(13)相对于金属掩模(1)设置,使橡胶刮板(14)的纵向方向沿着与开口部分(4)和桥部分(5)的排列方向垂直的方向延伸,并且橡胶刮板(14)相对于金属掩模(1)沿着开口部分(4)和桥部分(5)的排列方向行进。
搜索关键词: 太阳能电池 电极 形成 系统 方法
【主权项】:
一种用于太阳能电池的电极形成系统,以形成用于该太阳能电池的基底构件的电极,所述电极形成系统包括:丝网印刷工艺,其中金属掩模包括构造为覆盖该基底构件的一部分表面的覆盖部分、构造为允许该基底构件的一部分从其暴露的多个开口部分以及沿着与该开口部分之间的电路图案的纵向方向相交的方向设置的桥部分,在该金属掩模安装在该基底构件的表面上后,用于形成电极的膏由药筒类型的橡胶刮板头在给定的压力下被提供到该金属掩模的上表面,而具有给定长度的橡胶刮板相对地滑动在该金属掩模的上表面上;以及烘焙工艺,其中以给定的结构设置在该基底构件的表面上的该膏受到烘焙以形成作为电极的膏,其中在该丝网印刷工艺中,该橡胶刮板相对于该金属掩模行进。
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