[发明专利]光接收元件、光学传感器装置以及用于制造光接收元件的方法无效
申请号: | 201180012717.2 | 申请日: | 2011-09-28 |
公开(公告)号: | CN102782879A | 公开(公告)日: | 2012-11-14 |
发明(设计)人: | 藤井慧;石塚贵司;秋田胜史;猪口康博;稻田博史;永井阳一 | 申请(专利权)人: | 住友电气工业株式会社 |
主分类号: | H01L31/10 | 分类号: | H01L31/10 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 孙志湧;安翔 |
地址: | 日本大阪*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种光接收元件等,其中能够在II型多量子阱(MQW)结构中防止短波长侧的响应度降低,同时总体提高响应度。该光接收元件特征在于,该光接收元件设置有II型MQW的光接收层(3),具有像素P,并位于衬底1上,该光接收层(3)形成在由III-V族化合物半导体构成的衬底(1)上,MQW结构包括50对以上的两个不同的III-V族化合物半导体层(3a、3b)。在该成对的两个不同的III-V族化合物半导体层中,具有较高的价带势能的层(3a)的厚度比另一个层(3b)的厚度薄。 | ||
搜索关键词: | 接收 元件 光学 传感器 装置 以及 用于 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种光电二极管,所述光电二极管形成在III‑V族化合物半导体衬底上,并且包括像素,所述光电二极管包括:吸收层,所述吸收层位于所述衬底上,并且具有II型多量子阱(MQW)结构,其中所述MQW结构包括五十对以上的两个不同类型的III‑V族化合物半导体层,并且所述两个不同类型的III‑V族化合物半导体层中与另一个层相比具有较高的价带势能的层的厚度比所述另一个层的厚度薄。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
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H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的