[发明专利]氧化物蒸镀材料和透明导电膜有效
| 申请号： | 201180014684.5 | 申请日： | 2011-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN102812150A | 公开（公告）日： | 2012-12-05 |
| 发明（设计）人： | 阿部能之;和气理一郎;桑原正和;曽我部健太郎;大城梓;矢田久贵 | 申请（专利权）人： | 住友金属矿山株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/24;H01B5/14 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 崔香丹;张永康 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的氧化物蒸镀材料，其特征在于，由以氧化铟为主要成分且以Sn/In原子数比计含有0.001～0.614的锡的氧化物烧结体构成，且CIE1976色度系统中的L*值为54～75。L*值为54～75的上述氧化物蒸镀材料具有最佳氧量，因此，即使向成膜真空槽导入的氧气量少，也可以通过真空蒸镀法制造出低电阻且在可见区具有高透过性的透明导电膜，并且由于氧气的导入量少，可以缩小膜与蒸镀材料之间的组成差，也可减少批量生产时膜组成的变动和特性的变动。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化物 材料 透明 导电 | ||
【主权项】：
一种氧化物蒸镀材料，其特征在于，其由以氧化铟为主要成分且含有锡的氧化物烧结体构成，并且锡的含量以Sn/In原子数比计为0.001～0.614，并且CIE1976色度系统中的L*值为54～75。
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