[发明专利]用于在移动基板上提供瞬态热分布处理的装置

摘要

公开了一种用于使用来自闪光灯的脉冲光热处理低温基板上的材料的方法和装置。将材料传送通过闪光灯。由脉宽调制来形成光脉冲，以设计脉冲的形状从而在基板上生成热梯度，使材料能够被加热到超出基板的最大加工温度而不会损坏。其整形的脉冲速率与传送系统的传送速度同步。通过使用来自反馈传感器的信息，重新计算热梯度以实时地改变脉冲形状，用于实时地优化随后的固化而不对固化装置断电。组合的脉冲整形和同步允许设计在传送方向上均匀固化的样品的温度分布。

主权项

一种用于固化移动基板上的薄膜叠层的装置，所述装置包括：传送系统，用于移动在所述基板上设置的薄膜叠层；数据处理系统，具有热叠层模拟程序以允许用户输入所述薄膜叠层的参数以便产生用于固化所述薄膜叠层的优化热分布；闪光灯控制器，用于根据产生的优化热分布调制脉冲的脉冲宽度，其中所述闪光灯控制器包括：计算机；任意波形生成器；以及编码器，所述编码器提供触发信号给所述计算机，所述计算机在适当的时间将所述触发信号发送到所述任意波形生成器以产生各种形状和时序的波形从而固化位于所述传送系统上的所述薄膜叠层；闪光灯，用于提供多个电磁脉冲，其中所述多个电磁脉冲的脉冲宽度由所述闪光灯控制器根据所述产生的优化热分布调制，以在相对于所述闪光灯移动所述薄膜叠层时固化所述薄膜叠层。