[发明专利]胶粘剂组合物、胶粘带、半导体晶片的处理方法及TSV晶片的制造方法有效
申请号: | 201180015098.2 | 申请日: | 2011-03-17 |
公开(公告)号: | CN102822306A | 公开(公告)日: | 2012-12-12 |
发明(设计)人: | 野村茂;杉田大平;利根川亨 | 申请(专利权)人: | 积水化学工业株式会社 |
主分类号: | C09J201/00 | 分类号: | C09J201/00;C09J7/02;C09J11/06 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 蒋亭 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的目的在于提供既具有高的胶粘力又能够易于剥离剥離、且耐热性也优异的胶粘剂组合物,使用了该胶粘剂组合物的胶粘带,以及使用了该胶粘带的半导体晶片的处理方法,及使用了该胶粘带的TSV晶片的制造方法。本发明是含有胶粘剂成分、以及下述通式(1)、通式(2)或通式(3)所示的四唑化合物或其盐的胶粘剂组合物。式(1)~(3)中,R1、R2表示氢、羟基、氨基、碳数为1~7的烷基、亚烷基、苯基或巯基。前述碳数为1~7的烷基、亚烷基、苯基羟基也可以被取代。 | ||
搜索关键词: | 胶粘剂 组合 胶粘带 半导体 晶片 处理 方法 tsv 制造 | ||
【主权项】:
1.一种胶粘剂组合物,其特征在于,含有胶粘剂成分、以及下述通式(1)、通式(2)或通式(3)所示的四唑化合物或其盐;式(1)~(3)中,R1、R2表示氢、羟基、氨基、碳数为1~7的烷基、亚烷基、苯基或巯基,所述碳数为1~7的烷基、亚烷基、苯基或巯基也可以被取代。
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