[发明专利]激光曝光方法及制品

摘要

本发明公开一种高分辨率的激光曝光方法及使用该激光曝光方法制造出的制品，该激光曝光方法能够进行凹版制版、胶印制版、苯胺制版等的高分辨率的激光制版，而且能够用于印刷基板、液晶显示器、等离子显示器等电子部件的电路图案的激光曝光或纸币等的防止伪造用特殊印刷等中。该激光曝光方法使用激光曝光装置来使激光光束扫描，从而在该感光膜上形成具有规定长度的激光束斑列，并使涂敷在版面上的感光膜曝光而形成感光的部分和未感光的部分，在前后的扫描中，以使在先扫描的激光束斑列的宽度方向的至少一半的区域被重复曝光的方式使在后的激光束斑列进行扫描曝光。

主权项

一种激光曝光方法，其特征在于，用于使用含有激光头部的激光曝光装置使激光光束进行扫描，从而在感光膜上形成具有规定长度的激光束斑列，并使涂敷在版面上的感光膜曝光而形成被感光的部分和未感光的部分，其中，所述激光头部具有：激光光源，其使激光振荡；光调制部，其通过多个控制信号使该激光在空间中排列分割而成为多个激光光束；投影光学部，其使来自光调制部的、排列后的激光光束缩小投影；扫描装置，其使该激光光束相对于感光膜扫描，所述激光头部使在投影光学部的成像部排列的多个激光束斑分别成为具有宽度方向的尺寸比与该宽度方向正交的高度方向的尺寸大的矩形形状的矩形激光束斑，在前后的扫描中，以使在先扫描的激光束斑列的宽度方向的至少一半的区域被重复曝光的方式使在后的激光束斑列进行扫描曝光。