[发明专利]静电吸盘

摘要

本发明提供一种静电吸盘，其特征为，具备：陶瓷电介体，在表面上形成有电极；陶瓷基板，支撑陶瓷电介体；及第1接合剂，接合陶瓷电介体与陶瓷基板，第1接合剂具有包含有机材料的主剂、包含无机材料的无定形填充物、包含无机材料的球形填充物，在第1主剂中分散配合有第1无定形填充物与第1球形填充物，第1主剂、第1无定形填充物与第1球形填充物由电绝缘性材料构成，第1球形填充物的平均直径大于第1无定形填充物的短径的最大值，第1接合剂的厚度或者与第1球形填充物的平均直径相同或者更大。

主权项

一种静电吸盘，其特征为，具备：陶瓷电介体，在表面上形成有电极；陶瓷基板，支撑所述陶瓷电介体；及第1接合剂，接合所述陶瓷电介体与所述陶瓷基板，所述第1接合剂具有包含有机材料的第1主剂、包含无机材料的第1无定形填充物、包含无机材料的第1球形填充物，在所述第1主剂中分散配合有所述第1无定形填充物与所述第1球形填充物，所述第1主剂、所述第1无定形填充物与所述第1球形填充物由电绝缘性材料构成，所述第1球形填充物的平均直径大于全部所述第1无定形填充物的短径的最大值，所述第1接合剂的厚度或者与所述第1球形填充物的平均直径相同或者更大。