[发明专利]用于同轴式光纤装置的具有带引脚的馈通线的气密性封装及其制造方法无效
| 申请号： | 201180015705.5 | 申请日： | 2011-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN102884459A | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | C·D·葡欧;A·C·吉罗士;C·S·特朗柏 | 申请（专利权）人： | 艾洁莱特公司 |
| 主分类号： | G02B6/28 | 分类号： | G02B6/28;G02B6/42 |
| 代理公司： | 北京汇智英财专利代理事务所(普通合伙) 11301 | 代理人： | 郑玉洁 |
| 地址： | 美国新罕布夏州*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于同轴式光纤装置（例如光纤分接头（106，108，110））的气密性密封的引脚式封装（100）。所述封装较佳地采用电馈通件，且所述电馈通件与微机加工硅晶圆（402）的批处理工艺兼容。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 同轴 光纤 装置 具有 引脚 馈通线 气密性 封装 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种用于封闭及气密性地密封同轴式光纤装置（106，108，110）的封装（100），其特征在于，所述封装包括：第一输入光纤（106）；第二输出光纤（106）；硅基板（112），具有至少一个锥形的V形槽（118），以用于容纳及紧固所述输入光纤或所述输出光纤；中心井（112），被蚀刻至所述基板中并容纳至少一个光电二极管；硅覆盖层（104）及所述硅基板；以及至少一个气密性电馈通件，其包含孔（306，308）及电引线，所述孔（306，308）具有实质上垂直的侧壁，所述电引线具有突出结构（302， 304），所述突出结构（302，304）延伸入所述孔中，且其中所述突出结构与所述孔的所述侧壁之间的空间中填充有玻璃焊料（310）。
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