[发明专利]电容式压力传感器

摘要

一种改进的电容式压力计，所述压力计包括：隔膜，其包括（a）公共电极以及（b）具有中心电极和环形电极的电极结构，其中，所述隔膜在（i）当隔膜每侧上压力相同时的零位置以及（ii）当向隔膜施加最大可测量压力差的最大压力差位置之间可移动，以及支撑结构，设置其以支撑所述隔膜，从而所述隔膜相对于电极结构而受限，并且所述公共电极相对于所述压力计的对准轴而与所述中心和环形电极间隔开并轴向对齐；其中，所述电极结构相对于所述隔膜而固定在围绕对准轴呈角度间隔的三个夹紧位置；以及其中，限定在包含限制隔膜的点和每个夹紧位置点的每个正确平面内相对于处于零位置处的隔膜平面的角度在60°和90°之间，以使得减少电极盘支撑高度的改变，允许在隔膜和电极结构之间具有较小的间隙和提高的稳定性。通过包括具有多个突出部的间隔环以及设置成在每个突出部的位置将所述电极结构夹紧至所述间隔环的夹具，以便限定围绕对准轴的多个等角度间隔的夹紧位置，从而消除偶然间隔器引起的径向剪切力以及可能影响可重复性和稳定性的随后可能粘滞滑动情况的可能性。

主权项

一种电容式压力计，包括：隔膜，其包括（a）公共电极以及（b）具有中心电极和环形电极的电极结构，其中，所述隔膜在（i）当隔膜每侧上压力相同时的零位置以及（ii）当向隔膜施加最大可测量压力差的最大压力差位置之间可移动，以及支撑结构，设置其以支撑所述隔膜，从而所述隔膜相对于所述电极结构而受限，并且所述公共电极相对于压力计的对准轴而与所述中心和环形电极间隔开并轴向对齐；其中，所述电极结构相对于所述隔膜而固定在围绕所述对准轴呈角度间隔的三个夹紧位置；以及其中，限定在包含限制隔膜的点和每个夹紧位置点的每个正确平面内相对于处于零位置处的隔膜平面的角度在60°和90°之间，以使得减少电极盘支撑高度的改变，允许在所述隔膜和电极结构之间具有较小的间隙和提高的稳定性。