[发明专利]表面处理设备

摘要

为了减小在表面处理设备中当表面处理材料流体沿着衬底的表面流动以排出时由于使用过的流体与出口通道的内壁碰撞而引起的紊流。表面处理设备（10）是其中盘状试料保持台（14）设置在构成圆筒状圆周壁的外壳（12）内的设备。设置在外壳（12）的上部中的圆筒状部分（22）构成材料流体供应通道，并且设置在外壳（12）中试料保持台（14）的横向侧上并随着气远离圆筒状部分（22）而扩展成形的通道构成流体排出通道（24）。流体排出通道（24）采用抛物线曲线等，其中，试料保持台（14）的最外圆周的上端的位置定义为焦点位置，并且与焦点位置对称的出口的上端的位置定义为基准位置。

主权项

一种表面处理设备，其包括：外壳，其构成周壁；试料保持台，其设置在所述外壳内，用于保持试料；材料流体供应通道，其设置到所述外壳，用于将材料流体供应到在所述试料保持台上的所述试料；以及流体排出通道，其设置在所述外壳中的所述试料保持台的横向侧，用于将在沿着所述试料的表面流动的同时已经将表面处理施加到所述试料的所述材料流体作为使用过的流体经由在所述试料保持台的横向侧形成的出口排出到外部，其中，当与所述出口的横截面垂直的方向轴定义为x轴，与所述x轴正交的任意方向轴定义为y轴，所述出口的周缘端与所述y轴相交的点中的一个点的位置被定义为焦点位置，并还定义为所述y轴的+a位置，所述出口的所述周缘端与所述y轴相交的点中与所述焦点位置关于所述x轴对称的其他点的位置被定义为基准位置，并还定义为所述y轴的零位置，基准线定义在所述y轴的‑a位置中，所述y轴的‑a位置是与所述焦点位置在夹着所述基准位置的情况下对称的位置，与所述y轴平行的任意垂线与所述基准线相交的点定义为垂线上端点，并且所述任意垂线与从所述焦点位置延伸的任意线相交的点定义为垂线下端点时，所述流体排出通道包括通道一侧曲线，其是在所述垂线上端点和所述垂线下端点之间的距离等于所述焦点位置和所述垂线下端点之间的距离的情况下所述垂线下端点 的轨迹而形成的经过所述基准位置的抛物线曲线，或者以所述抛物线曲线作为基准曲线而形成的抛物线类似曲线，以及通道另一侧曲线，其与所述通道一侧曲线相对，并且所述流体排出通道的形状基于所述通道一侧曲线和所述通道另一侧曲线而形成。