[发明专利]利用碳化物丝线的热丝化学气相沉积（HWCVD）无效
| 申请号： | 201180016313.0 | 申请日： | 2011-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN102933739A | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 马克·朗德里;伊娜·马丁;马克西姆·舒布;查尔斯·特普林;约翰·马里纳;詹姆斯·波图加尔 | 申请（专利权）人： | 可持续能源联盟有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 顾晋伟;吴鹏章 |
| 地址： | 美国科*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种热丝化学气相沉积装置，用于通过裂解诸如硅烷的源或前体气体，在晶片或衬底的表面上沉积诸如非晶硅或外延硅的薄膜。所述装置包括真空室，以及可操作以将前体气体注射到所述室中的前体气体的源。所述HWCVD装置还包括具有暴露于所述沉积室的支承表面的加热器，并且所述加热器可操作以加热设置于所述支承表面上的衬底。所述装置包括具有设置在所述加热器与前体气体入口之间的丝线的催化分解组合件，所述丝线选择性地通过电流以电阻加热丝线的材料。丝线材料可为碳化物如碳化钽，碳化物可涂覆在石墨芯上。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 碳化物 丝线 化学 沉积 hwcvd | ||
【主权项】：
一种热丝化学气相沉积(HWCVD)装置，包括：可在真空下操作的沉积室；前体气体的源，包括用于将一定体积的所述前体气体注入到所述沉积室中的气体入口；具有暴露于所述沉积室的支承表面的加热器，所述加热器可操作为加热设置在所述支承表面上的衬底；以及催化分解组合件，包括设置于所述加热器的所述支承表面与所述前体气体入口之间的丝线，并且还包括用于选择性地使电流通过所述丝线来电阻加热所述丝线的材料的电源，其中所述丝线材料包括碳化物。
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