[发明专利]用于制造太阳能的电池的方法

摘要

本发明涉及一种用于由硅衬底制造太阳能电池的方法，所述硅衬底具有在使用状态中用作光入射侧的第一主表面和用作背侧的第二主表面，在第二主表面上具有钝化层，所述方法包括下述步骤：将含氧化物层施加到所述硅衬底的第二主表面上；和将所述硅衬底加热到至少800℃的温度以紧实所述含氧化物层并且以氧化所述含氧化物层与所述硅衬底的第二主表面之间的边界面，以形成热氧化物，其中，氧源输出用于氧化的氧。

主权项

一种用于由硅衬底（1）制造太阳能电池的方法，所述硅衬底具有在使用状态中用作光入射侧的第一主表面（3）和用作背侧的第二主表面（4），在第二主表面（4）上具有钝化层，所述方法包括下述步骤：将含氧化物层（5）施加到所述硅衬底（1）的第二主表面（4）上；和将所述硅衬底（1）加热到至少800℃的温度以紧实所述含氧化物层（5）并且氧化所述含氧化物层（5）与所述硅衬底（1）的第二主表面（4）之间的边界面，以形成热氧化物（6），其中，氧源输出用于氧化的氧，其中，所述含氧化物层（5）包括超化学计量的氧化物SiO_2+x:H和/或以BSG或PSG为形式的吸湿氧化物和/或TEOS氧化物，并且所述含氧化物层（5）用作氧源，其中，此外将在加热所述硅衬底（1）期间在所述第一主表面上和在所述第二主表面上产生的氧化硅层从第一主表面（3）上蚀刻去掉并且将所述含氧化物层（5）的一部分从所述第二主表面（4）上蚀刻去掉。