[发明专利]氟气生成装置

摘要

本发明涉及一种氟气生成装置，其具备：与电解槽的第1气室连接、用于将氟气供给到外部装置的第1主通路；将氟气从第1气室导出并输送的第1输送设备；检测第1输送设备的上游侧的压力的第1压力检测器；用于将从第1输送设备排出的氟气返回到第1输送设备的吸入侧的第1压力调节阀；控制第1压力调节阀的开度，使得第1压力检测器的检测压力达到第1设定值的控制装置；设置在压力检测器的上游侧的起动阀；和检测阀门关闭状态下的起动阀的前后压差的压差检测器，其中在氟气生成装置起动时，控制装置改变设定值，使得起动阀的前后压差处于设定范围内，在前后压差处于设定范围内时，打开起动阀。

主权项

一种氟气生成装置，其通过将熔融盐中的氟化氢电解，从而生成氟气，该装置具备：电解槽，其在熔融盐液面上隔离、划分为第1气室和第2气室，其中，在浸渍于熔融盐中的阳极处生成的以氟气为主成分的主产气体被导入所述第1气室，在浸渍于熔融盐中的阴极处生成的以氢气为主成分的副产气体被导入所述第2气室；主通路，其与所述第1气室连接、用于将所述电解槽的所述阳极处生成的主产气体供给到外部装置；输送设备，其设置在所述主通路中，将主产气体从所述第1气室导出并输送；压力检测器，其检测所述主通路中所述输送设备的上游侧的压力；回流通路，其连接所述输送设备的排出侧与吸入侧；压力调节阀，其设置在所述回流通路中，用于将从所述输送设备排出的主产气体返回到该输送设备的吸入侧；控制装置，其控制所述压力调节阀的开度，使得通过所述压力检测器检测出的压力达到预先规定的设定值；起动阀，其设置在所述主通路中的所述压力检测器的上游侧，在氟气生成装置起动时打开，容许在所述阳极处生成的主产气体流通；和压差检测器，其检测阀门关闭状态下的所述起动阀的前后压力差，在氟气生成装置起动时，所述控制装置改变所述设定值，使得通过所述压差检测器检测出的压力差处于预先规定的设定范围内，在该压力差处于所述设定范围内时，打开所述起动阀。