[发明专利]涂覆方法及装置

摘要

涂覆方法及用于该方法的涂覆装置。涂覆装置包括组件(5,6)，用于形成混合物，所述混合物包含至少一种表面反应的前体；组件(7)，用于使混合物雾化成为液滴(8)；组件(1)，用于将混合物的液滴(8)往将被表面反应涂覆的基板(4)的表面(3)传输。调整用于形成混合物的组件(5,6)，以将液态载体物质混合到混合物中，所述液态载体物质并不是表面反应的前体，并且在已定义的方法空间中其沸点低于表面反应的前体的沸点。本发明所提出的设置同时提高涂覆方法的速度和质量。

主权项

一种涂覆基板(4)的表面(3)的方法，所述方法包括：形成液态涂覆混合物，所述液态涂覆混合物包含至少一种在所述基板(4)的表面(3)上反应用于形成涂层的前体；将所述涂覆混合物雾化为液滴(11)；朝着所述基板(4)的表面(3)传输所述液滴(11)，使得所述至少一种前体在所述基板(4)的表面(3)上反应；其特征在于将液态载体物质混合至所述混合物，其中所述液态载体物质不是前体，并且所述液态载体物质的沸点低于所述前体的沸点。