[发明专利]超声波探头及其制造方法以及超声波诊断装置有效
申请号: | 201180020499.7 | 申请日: | 2011-04-06 |
公开(公告)号: | CN102860045A | 公开(公告)日: | 2013-01-02 |
发明(设计)人: | 佐光晓史;深田慎;石田一成 | 申请(专利权)人: | 株式会社日立医疗器械 |
主分类号: | H04R19/00 | 分类号: | H04R19/00;A61B8/00;H04R31/00 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;郭凤麟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 在本发明的超声波探头中,抑制衬里层和CMUT部的接合部分产生的热应力引起的CMUT部的翘曲,提高CMUT部与衬里层的粘合的耐久性。为此,具备:具有根据施加的偏置电压改变机电耦合系数或灵敏度的振动要素的CMUT部(20);与CMUT部(20)的超声波发送面的背面侧粘合的衬里层(22);隔着衬里层(22)与CMUT部(20)相对配置,抑制与衬里层(22)粘合的CMUT部(20)与衬里层(22)之间产生的热应力导致的CMUT部(20)的翘曲的热应力平衡部件(24)。 | ||
搜索关键词: | 超声波 探头 及其 制造 方法 以及 诊断 装置 | ||
【主权项】:
一种超声波探头,其特征在于,具备:CMUT部,其具有根据施加的偏置电压改变机电耦合系数或灵敏度的振动要素;衬里层,其与所述CMUT部的超声波发送面的背面侧粘合;以及热应力平衡部件,其隔着所述衬里层与所述CMUT部相对配置,与所述衬里层粘合,抑制在所述CMUT部与所述衬里层之间产生的热应力引起的所述CMUT部的从所述衬里层的翘曲。
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