[发明专利]具有改良效率的磁扫描系统有效

专利信息
申请号: 201180020858.9 申请日: 2011-04-27
公开(公告)号: CN102859636A 公开(公告)日: 2013-01-02
发明(设计)人: 伯·范德伯格 申请(专利权)人: 艾克塞利斯科技公司
主分类号: H01J37/147 分类号: H01J37/147;H01J37/317
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 倪斌
地址: 美国马*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 发明的一些方案通过利用一磁束扫描仪辅助离子注入,该扫描仪包含第一及第二磁元件,射束路径区域介于其间。一或多个磁通量压缩元件配置于接近射束路径区域处且介于第一及第二磁元件之间。操作期间,第一及第二磁元件合作产生一振荡时变磁场于该射束路径区域之中以按时间来回扫描离子束。该一或多个磁通量压缩元件压缩第一及第二磁元件所提供的磁通量,从而降低来回磁扫描射束所需的功率总量(相对于先前的实施方式)。还揭示了其他扫描仪、系统、以及方法。
搜索关键词: 具有 改良 效率 扫描 系统
【主权项】:
一种用于扫描离子束的磁偏转系统,包含:磁轭组件,具有入口端和出口端,射束路径区域在入口端和出口端之间延伸,其中该射束路径区域基本上在径向上受限于该磁轭组件的内表面;第一及第二磁极片,自磁轭组件向着彼此且向着射束路径区域伸出,其中接近射束路径区域在第一及第二磁极片之间界定磁极间隙区域;第一及第二线圈,分别缠绕第一及第二磁极片,其中第一及第二线圈被配置为耦接至电流源以使一时变电流通过第一及第二线圈,使得第一及第二线圈在磁极间隙区域中产生一振荡时变磁场;以及至少一磁通量压缩元件,配置于该磁轭组件的内周之内以及射束路径区域外部。
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