[发明专利]温度传感器元件、用于制造温度传感器元件的方法和温度传感器

摘要

一种温度感测元件包括由Si基陶瓷构成的热敏电阻器，以及被接合到所述热敏电阻器的表面上的金属电极对。该金属电极包括Cr和具有高于Cr的Si扩散系数的Si扩散系数的金属元素α。在该热敏电阻和该金属电极对之间的接合界面中形成扩散层，该扩散层包括在Si基陶瓷的晶粒边界中的金属元素α的硅化物。提供了包括该扩散层的温度传感器。由于该扩散层，该温度传感器确保了耐热性和接合可靠性，并且使能在特别是从-50℃到1050℃的温度范围中具有高精度的温度检测。

主权项

一种温度感测元件，包括热敏电阻器，所述热敏电阻器具有随着温度而变化的电气特性；以及金属电极对，所述金属电极对被接合到所述热敏电阻器的表面上，其特征在于：所述热敏电阻器由Si基陶瓷构成；所述金属电极对包括Cr和金属元素α，所述金属元素α具有比Cr的Si扩散系数高的Si扩散系数；以及扩散层，所述扩散层形成在所述热敏电阻器与所述金属电极对之间的界面中，在所述扩散层中，构成所述热敏电阻器的所述Si基陶瓷的晶粒边界中存在所述金属元素α的硅化物。