[发明专利]蓝宝石研磨用浆液和蓝宝石的研磨方法无效
| 申请号： | 201180021088.X | 申请日： | 2011-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN102869478A | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 细井大祐;繁田岳志 | 申请（专利权）人： | 日本百考基株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所 11216 | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的课题在于提供一种蓝宝石研磨用的研磨用浆液以及蓝宝石衬底的研磨方法，其中，在蓝宝石衬底研磨时，即使缩短研磨工时和研磨时间，仍可获得大于等于现有的研磨工序的研磨速度和平滑面。形成包含氧化铝磨粒、pH调节到10.0～14.0的范围内的浆液，采用该浆液，按照CMP技术对蓝宝石进行研磨。上述氧化铝磨粒特别是优选至少包含α-氧化铝，其含量特别是优选在0.01～50重量%的范围内。上述氧化铝磨粒的平均粒径优选在0.05～10μm的范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 研磨 浆液 方法 | ||
【主权项】：
一种蓝宝石研磨用浆液，其特征在于，其包含氧化铝磨粒，pH在10.0～14.0的范围内。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日本百考基株式会社，未经日本百考基株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201180021088.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
