[发明专利]用于检查结构化对象的光学设备和方法有效
| 申请号： | 201180021226.4 | 申请日： | 2011-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN102893121A | 公开（公告）日： | 2013-01-23 |
| 发明（设计）人： | 吉莱斯·弗莱斯阔特 | 申请（专利权）人： | 纳米技术公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G02B21/00 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 余朦;王艳春 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明涉及用于检查结构化对象（4）的显微镜设备，包括：相机（1）；光学成像装置（2），其能够根据视场在相机（1）上产生对象的图像，光学成像装置（2）包括远透镜（3），远透镜布置在对象（4）侧；以及低相干红外干涉仪（5），包括具有多个红外波长的测量光束（6），低相干红外干涉仪能够通过测量光束（6）的回射与至少一个单独的光学参考之间的干涉产生测量。设备还包括耦合装置（7），用于以这样的方式将测量光束射入光学成像装置，使得测量光束穿过远透镜（3），低相干红外干涉仪（5）以这样的方式平衡，使得仅在与光束（6）覆盖的至对象（4）的光程相接近的光程下发生的测量光束回射（6）产生测量，限定测量范围。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检查 结构 对象 光学 设备 方法 | ||
【主权项】：
用于检查结构化对象（4）的显微镜设备，包括：‑相机（1），‑光学成像装置（2），其能够根据视场在所述相机（1）上产生所述对象（4）的图像，所述光学成像装置（2）包括远透镜（3），所述远透镜布置在所述对象（4）侧，‑低相干红外干涉仪（5），包括具有多个红外波长的测量光束（6），所述低相干红外干涉仪能够通过所述测量光束（6）的回射与至少一个单独的光学参考之间的干涉产生测量，其特征在于：‑所述设备还包括耦合装置（7），用于以这样的方式将所述测量光束射入所述光学成像装置（2），使得所述测量光束穿过所述远透镜（3），并根据基本包括在所述成像装置（2）的视场中的测量区域与所述对象（4）相交，以及‑所述低相干红外干涉仪（5）以这样的方式平衡，使得仅在与所述光束（6）覆盖的至所述对象（4）的光程接近的光程下发生的测量光束回射（6）产生测量，限定测量范围。
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