[发明专利]太阳能电池用的多晶硅锭的高输出制造设备

摘要

本发明涉及太阳能电池用的多晶硅锭的高输出制造设备，更具体地说，涉及通过在真空腔室中使原料硅加热和熔融、然后使熔融硅冷却来制造多晶硅锭的设备，其中，该设备包括：多个坩埚，该多个坩埚在该真空腔室中彼此分开地水平排列，每个坩埚都装有原料硅以制造多晶硅锭；加热装置，该加热装置设置在各个坩埚的外部以便对各个坩埚加热并使其中装有的原料硅熔融；以及冷却装置，该冷却装置使该坩埚冷却，从而能够使通过该加热装置熔融的硅单向冷却并形成多晶锭。

主权项

一种通过在真空腔室内部使装入坩埚的原料硅加热、熔融和冷却来制造太阳能电池用的多晶硅锭的高输出制造设备，所述设备包括：多个坩埚，所述多个坩埚在所述真空腔室中彼此分开地水平排列，每个坩埚都装有原料硅以制造多晶硅锭；加热系统，所述加热系统设置在各个坩埚的外部并且对各个坩埚加热以使其中的原料硅熔融；以及冷却装置，所述冷却装置使所述坩埚冷却，从而使通过所述加热系统熔融的硅冷却并生长成多晶锭。