[发明专利]单涂层的厚氧化物膜有效
| 申请号： | 201180022027.5 | 申请日： | 2011-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN102870244A | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 斯里瓦桑·萨特亚默西;马丁·W·鲁皮希 | 申请（专利权）人： | 美国超导体公司 |
| 主分类号： | H01L39/24 | 分类号： | H01L39/24;C23C18/12 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 顾晋伟;吴鹏章 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种制品，包括衬底和沉积在所述衬底上的均质金属氟氧化物中间膜层，所述中间膜包含稀土金属、碱土金属和过渡金属。所述中间膜具有小于20％的缺陷密度，并且在热处理后能够转化成化学计量厚度大于1μm且至多5μm的稀土金属-碱土金属-过渡金属-氧化物超导体膜。还公开了另一制品，包括衬底和化学计量厚度大于1μm且至多5μm的均质超导体膜。此外，公开了制备这两种制品的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 涂层 氧化物 | ||
【主权项】：
一种制品，包括：衬底；和设置在所述衬底上的均质金属氟氧化物中间膜的层，所述中间膜包含稀土金属、碱土金属和过渡金属，其中所述中间膜具有小于20％的缺陷密度，并且经热处理能够转化成化学计量厚度大于1μm且至多5μm的均质稀土金属‑碱土金属‑过渡金属‑氧化物超导体膜。
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