[发明专利]利用非交联的光-或热-可交联的聚合物层进行金属水平激光烧蚀来减少帽状突起的影响

摘要

本发明涉及激光-可交联材料（10）的使用，所述激光-可交联材料是非交联或部分交联的，用于在激光蚀刻过程中保护有机晶体管的电极。

主权项

一种制造有机晶体管的方法，包括以下步骤的方法：保护层（10）在基板（5）上的沉积，所述层包括一个激光‑可交联的材料，表现为非交联或部分交联的形式；导电层（4）的沉积旨在在所述保护层（10）上，形成晶体管的源极和漏极电极（6，7）或栅极（8）；导电层（4）的激光蚀刻，导致形成晶体管的源极和漏极电极（6，7）或栅极（8）；电介质层（9）的沉积；栅极（8）或源极和漏极电极（6，7）的沉积，半导体层（11）在源极和漏极电极（6，7）表面的沉积。