[发明专利]用于化学机械平面化的具有表面活性剂的固定磨料垫片有效
| 申请号： | 201180023624.X | 申请日： | 2011-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN102892553A | 公开（公告）日： | 2013-01-23 |
| 发明（设计）人： | 朱莉·Y·乾;小吉米·R·巴兰 | 申请（专利权）人： | 3M创新有限公司 |
| 主分类号： | B24D3/34 | 分类号： | B24D3/34;B24B37/04 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 梁晓广;关兆辉 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种采用结构化磨料制品形式的固定磨料垫片(100)，所述垫片具有设置在背衬(110)上的结构化磨料层(120)。结构化磨料层(120)包括聚合物粘结剂、分散在粘结剂中的磨粒和分散在粘结剂中的非离子聚醚表面活性剂。所述磨粒具有小于约200nm的平均粒径，并且按结构化磨料层的总重量计，在所述粘结剂中所述表面活性剂的量为0.75重量%至2.2重量%。本发明还提供了使用所提供的固定磨料垫片研磨工件的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 化学 机械 平面化 具有 表面活性剂 固定 磨料 垫片 | ||
【主权项】：
一种结构化磨料制品，包括：背衬，具有相背的第一主表面和第二主表面；结构化磨料层，设置并固定于所述第一主表面上，其中，所述结构化磨料层包括：聚合物粘结剂，分散在所述粘结剂中的磨粒；和分散在所述粘结剂中的非离子聚醚表面活性剂，其中，所述磨粒具有小于约200nm的平均粒径，其中，所述非离子聚醚表面活性剂没有通过共价键链接到交联的所述聚合物粘结剂，并且其中，按所述结构化磨料层的总重量计，所述非离子聚醚表面活性剂的存在量为0.75重量%至2.2重量%。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于3M创新有限公司，未经3M创新有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201180023624.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：车辆
- 下一篇：一种带有倾动功能的链条展开式太阳能发电站
