[发明专利]利用加工距离的原位测量的材料加工装置有效
| 申请号： | 201180023715.3 | 申请日： | 2011-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN102892547A | 公开（公告）日： | 2013-01-23 |
| 发明（设计）人： | 马丁·斯科恩勒伯 | 申请（专利权）人： | 普雷茨特激光技术有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/04 | 分类号： | B23K26/04;B23K26/08;B23K26/03;G01B11/14;G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 韩明星 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种利用光束发生器(5)的加工光束(4)并且利用光束发生器(5)和工件(6)之间的加工距离(a)的原位测量的材料加工装置(1)。为此，材料加工装置(1)具有利用加工光束(4)的加工激光器(13)。包括具有扫描器镜(31，32)的二维偏转装置的激光扫描器(14)布置在加工激光器(13)的下游。设置用于改变加工距离(a(t))的自动重聚焦装置。包括分光计(17)和至少两个传感器光源的传感器装置(16)产生测量光束(18)，测量光束(18)利用激光扫描器(14)和透镜系统(19)共同地感测工件(6)的加工区域(20)，同时记录工件距离(a)。传感器光源(11，12)的测量光束(18)被线性偏振，并且利用光耦合元件(21)在准直状态以交叉偏振方向耦合到材料加工装置(1)的激光扫描器(14)的加工光束(25)的光路中。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 加工 距离 原位 测量 材料 装置 | ||
【主权项】：
一种材料加工装置，利用光束发生器(5)的加工光束(4)并且利用光束发生器(5)和工件(6)之间的加工距离(a)的原位测量，所述材料加工装置(1)包括：加工激光器(13)，用于加工激光器(13)的激光扫描器(14)和改变加工距离(a(t))的可变重聚焦装置，激光扫描器(14)包括具有扫描器镜(31，32)的二维偏转装置(15)；传感器装置(16)，包括分光计(17)和至少一个传感器光源；测量光束(18)利用激光扫描器(14)和物镜(19)一起扫描工件(6)的加工区域(20)同时收集工件距离(a)，至少两个传感器光源(11，12)的测量光束(18)被线性偏振并且通过光耦合元件(21)在准直状态以交叉偏振方向耦合到材料加工装置(1)的激光扫描器(14)的加工光路(25)中。
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