[发明专利]精细图案的生产方法无效
| 申请号： | 201180024055.0 | 申请日： | 2011-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN102893216A | 公开（公告）日： | 2013-01-23 |
| 发明（设计）人： | 石仓宏恵 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/095 | 分类号： | G03F7/095;B41J2/16;G03F7/004;G03F7/039;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京魏启学律师事务所 11398 | 代理人： | 魏启学 |
| 地址： | 日本东京都大*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供精细图案的生产方法，其包括：(1)在基板上形成包含感光性树脂的第一树脂层；(2)在第一树脂层上形成包含仲或叔炔醇、光酸产生剂和树脂的第二树脂层；(3)将第二树脂层进行图案曝光；(4)使用第二树脂层的图案曝光部分作为掩模将第一树脂层进行曝光；和(5)除去第二树脂层和第一树脂层。 | ||
| 搜索关键词： | 精细 图案 生产 方法 | ||
【主权项】：
一种精细图案的生产方法，其包括：(1)在基板上形成包含感光性树脂的第一树脂层；(2)在所述第一树脂层上形成包含仲或叔炔醇、光酸产生剂和树脂的第二树脂层；(3)将所述第二树脂层进行图案曝光；(4)使用所述第二树脂层的图案曝光部分作为掩模将所述第一树脂层进行曝光；和(5)除去所述第二树脂层和所述第一树脂层。
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