[发明专利]低漂移的扫描探针显微镜无效
| 申请号： | 201180024536.1 | 申请日： | 2011-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN103069279A | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | A·G·鲁伊特;H·米特尔 | 申请（专利权）人： | 布鲁克纳米公司 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24;G01Q30/10 |
| 代理公司： | 北京市中伦律师事务所 11410 | 代理人： | 程义贵;张思悦 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 扫描探针显微镜，例如原子力显微镜，其包括Z轴载物台和基本不含因瓦合金的桥架结构。包含探针的扫描器安装在Z轴载物台上，其可在Z轴上移动，以使探针升高和降低。提供的漂移补偿装置用于减少Z轴载物台和桥架的热漂移。漂移补偿装置包括热耦合在Z轴载物台和桥架上的加热元件、环境温度传感器以及控制器，其主动地控制加热元件，从而将桥架和Z轴载物台维持在高温。 | ||
| 搜索关键词： | 漂移 扫描 探针 显微镜 | ||
【主权项】：
一种扫描探针显微镜，包括：底座；耦合在底座上的桥架结构；具有尖端的探针，所述探针由所述桥架结构来支撑；扫描器，其提供在探针和样品之间的相对扫描运动；和热控制系统，其操作以便在所述扫描器扫描所述样品之前加热桥架结构，并在所述扫描器扫描所述样品期间将所述桥架结构维持在第一基本恒定温度。
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