[发明专利]平行同步影像处理系统有效
申请号: | 201180024597.8 | 申请日: | 2011-05-18 |
公开(公告)号: | CN102906723A | 公开(公告)日: | 2013-01-30 |
发明(设计)人: | B·基恩;T·莱迪格 | 申请(专利权)人: | 派因布鲁克成像系统公司 |
主分类号: | G06F15/00 | 分类号: | G06F15/00 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 酆迅;张宁 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明揭露一种在微影制程中将光罩数据图案透过平行同步影像处理机制施加于基板之系统及方法。在一实施例中,该平行同步影像处理系统包括:一图形引擎,其可将一对象划分为多个梯形,并取各梯形之一边,列出一代表该多个梯形之边表;以及一分配器,其可自该图形引擎接收该边表,并将该边表分配至多个扫描线影像处理单元。该系统进一步包括:一同步调度哨符机制,其可监控处理该多个扫描线影像处理单元之多元同步化运作;以及多个缓冲储存器,其可储存来自对应扫描线影像处理单元之影像数据,并根据该同步调度哨符机制输出已储存之影像数据。 | ||
搜索关键词: | 平行 同步 影像 处理 系统 | ||
【主权项】:
一种执行平行同步影像处理之方法,其包含以下步骤:处理一或多个图形对象以形成多个凸多边形;产生一边表以代表该多个凸多边形;将该边表分配至多个扫描线影像处理单元;利用该多个扫描线影像处理单元平行同步处理该边表所列之该多个凸多边形;利用一同步调度哨符同步化该多个扫描线影像处理单元之运作,其中该同步调度哨符包括一用以标示一扫描线终点之独特图案;以及利用多个缓冲储存器来储存该多个扫描线影像处理单元所产生之影像数据。
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