[发明专利]辐射热计及其制造方法无效
| 申请号： | 201180025093.8 | 申请日： | 2011-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN102918369A | 公开（公告）日： | 2013-02-06 |
| 发明（设计）人： | 成田薰 | 申请（专利权）人： | 日本电气株式会社 |
| 主分类号： | G01J1/02 | 分类号： | G01J1/02;H01C7/02;H01L37/00 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 李晓冬 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在衬底(101)上形成聚合物膜(102)，在聚合物膜(102)上形成热敏电阻器(106)，并在热敏电阻器(106)与衬底(101)之间形成光反射膜(104)。因此，如果红外线或太赫兹波从上方入射，则一部分被热敏电阻器(106)吸收，并且大部分透过聚合物膜(102)并被光反射膜(104)反射。当热敏电阻器(106)与光反射膜(104)之间的距离是d时，具有用d＝1/4表示且等于或小于1的波长的光分量谐振并变为热量，并且热敏电阻器(106)的温度上升。检测随着热敏电阻器(106)的温度上升的电阻变化，从而检测红外线或太赫兹波的强度。 | ||
| 搜索关键词： | 辐射热 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种辐射热计，包括：衬底；在所述衬底上形成的绝热层；在所述绝热层上形成的热敏电阻器；以及在所述热敏电阻器与所述衬底之间形成的光反射膜。
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