[发明专利]通过迭代的空间谐波阶次截断的计算效率无效
| 申请号： | 201180025313.7 | 申请日： | 2011-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN102947732A | 公开（公告）日： | 2013-02-27 |
| 发明（设计）人： | A·维德曼;J·J·亨奇 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社;克拉-坦科股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G06F19/00 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 南毅宁;陈潇潇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 描述了一种用于改善针对光学计量中的衍射信号的计算效率的方法。该方法包括：对针对光栅结构的空间谐波阶次集合进行仿真。基于第一图案来截断所述空间谐波阶次集合以提供空间谐波阶次的第一截断集合。基于第二图案通过迭代过程来修改所述空间谐波阶次的第一截断集合以提供空间谐波阶次的第二截断集合，所述第二图案不同于所述第一图案。最后，仿真光谱基于空间谐波阶次的第二截断集合来提供。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 空间 谐波 截断 计算 效率 | ||
【主权项】：
一种用于改善针对光学计量中的衍射信号的计算效率的方法，该方法包括：对针对光栅结构的空间谐波阶次集合进行仿真；基于第一图案来截断所述空间谐波阶次集合以提供空间谐波阶次的第一截断集合；基于第二图案，通过迭代过程对所述空间谐波阶次的第一截断集合进行修改以提供空间谐波阶次的第二截断集合，所述第二图案不同于所述第一图案；以及基于所述空间谐波阶次的第二截断集合提供仿真光谱。
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