[发明专利]MEMS可变电容器及其驱动方法有效
| 申请号： | 201180026103.X | 申请日： | 2011-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN102906837A | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | 朴栋灿;尹浚宝;崔东勋;杨贤昊;赵盛培;宋珠荣;李尚勋;韩昌训;金昌郁 | 申请（专利权）人： | LG伊诺特有限公司;韩国高等科学技术研究所 |
| 主分类号： | H01G5/16 | 分类号： | H01G5/16 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李春晖;李德山 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本文公开了一种MEMS可变电容器及其驱动方法，该MEMS可变电容器包括：第一电极，浮置在第一电极的上部上方的第二电极，在第二电极的侧面处分离开的固定电极，以及设置在第二电极和固定电极之间、连接至第二电极并且通过施加到固定电极的电压来与固定电极物理接触的漂移电极。 | ||
| 搜索关键词： | mems 可变电容器 及其 驱动 方法 | ||
【主权项】：
一种MEMS可变电容器，其特征在于：第一电极；浮置在所述第一电极的上部上方的第二电极；在所述第二电极的侧面处分离开的固定电极；以及漂移电极，其被设置在所述第二电极和所述固定电极之间、连接至所述第二电极并且通过施加到所述固定电极的电压来与所述固定电极物理接触。
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