[发明专利]制造带有透明的由合成石英制成的内壁的石英玻璃坩埚的方法有效
| 申请号： | 201180026244.1 | 申请日： | 2011-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN102906038A | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | W.莱曼;T.凯泽;M.特罗默;C.纳萨罗夫 | 申请（专利权）人： | 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司 |
| 主分类号： | C03B19/09 | 分类号： | C03B19/09;C03B19/14;C03C17/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 石克虎;李进 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明的基本目的是，提供一种方法，用于制造具有由透明的、少气泡的、纯净的、具有较长使用寿命的石英玻璃制成的内层的一种石英玻璃坩埚。根据本发明的目的是由一种方法实现的，该方法包括以下方法步骤：(a)制备一个具有内侧面的、由石英玻璃制成的坩埚基体，(b)通过气相沉积在坩埚基体的内侧面的至少一个部分面积上制造一个多孔SiO2灰料层，将多孔的SiO2灰料层干燥以减少羟基含量，以及在贫氢的气氛中将灰料层烧结成由透明石英玻璃制成的内层，从而将内层的石英玻璃中的羟基含量设定为小于100重量ppm。 | ||
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【主权项】：
用于制造带有由合成石英制成的透明内层的石英玻璃坩埚的方法，该方法包括以下方法步骤：(a)制备一个具有内侧面的、由石英玻璃制成的坩埚基体(20)，(b)通过气相沉积在该坩埚基体(20)的内侧面的至少一个部分表面上制造一个多孔的SiO2灰料层(21)，(c)将多孔的SiO2灰料层(21)干燥，以减少羟基含量并且(d)在贫氢的气氛中将该灰料层(21)烧结为由透明石英玻璃制成的内层，从而将该内层的石英玻璃中的羟基含量设定为小于100重量ppm。
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