[发明专利]用于冷冻离子植入系统的加热转动密封件及轴承有效
| 申请号： | 201180026469.7 | 申请日： | 2011-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN102947916A | 公开（公告）日： | 2013-02-27 |
| 发明（设计）人： | 威廉·李;威廉·狄佛吉利欧;史蒂夫·德拉蒙 | 申请（专利权）人： | 艾克塞利斯科技公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李江晖 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开一种工件扫描系统，具有围绕第一轴线转动的扫描臂(202)和围绕用于选择性地固定工件的第二轴线可转动地连接到扫描臂的冷冻端部效应器(206)。冷冻端部效应器具有夹板(212)和用以冷却夹板的一个或多个冷却机构。轴承沿着第二轴线设置并且将端部效应器以能够转动地连接至扫描臂，和密封件沿着第二轴线设置，以在外部环境和内部环境之间提供压力屏障。轴承和/或密封可以具有与其相关联的铁磁流体。加热器组件靠近轴承和密封件设置，其中加热器组件配置成选择性地提供预定量的热量到轴承和密封件，从而增加端部效应器围绕第二轴线转动的倾向。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 冷冻 离子 植入 系统 加热 转动 密封件 轴承 | ||
【主权项】：
一种离子植入工件扫描系统，包括：扫描臂，配置成围绕第一轴线转动；冷冻端部效应器，能够转动地连接到扫描臂并且配置成选择性地固定工件，其中冷冻端部效应器进一步配置成围绕第二轴线转动，其中第一轴线和第二轴线以预定距离分开定位，并且其中冷冻端部效应器包括夹板和配置成冷却所述夹板的一个或多个冷却机构；轴承，沿着第二轴线设置，其中轴承能够转动地将端部效应器连接至扫描臂；密封件，沿着第二轴线设置，其中密封件大致在外部环境和与扫描臂和端部效应器中的一个或多个的内部区域相关联的内部环境之间提供压力屏障；和加热器组件，靠近轴承和密封件设置，其中加热器组件配置成选择性地提供预定量的热量到轴承和密封件，从而增加端部效应器围绕第二轴线转动的倾向。
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