[发明专利]覆盖部件的制造方法有效
| 申请号： | 201180026566.6 | 申请日： | 2011-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN102918177A | 公开（公告）日： | 2013-02-06 |
| 发明（设计）人： | 铃木雅裕;山川和芳;齐藤利幸 | 申请（专利权）人： | 株式会社捷太格特 |
| 主分类号： | C23C16/27 | 分类号： | C23C16/27 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 金世煜;苗堃 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种覆盖部件的制造方法。该覆盖部件的制造方法具备DLC膜形成工序，即，向容纳基材的处理室内导入含有碳系化合物和含氧有机硅系化合物的原料气体，在处理压力100Pa～400Pa的条件下，对基材施加电压，从而使等离子体产生，在基材表面形成DLC膜。作为含氧有机硅系化合物，例如可使用六甲基二硅氧烷。在DLC膜形成工序中，例如对基材施加直流脉冲电压。 | ||
| 搜索关键词： | 覆盖 部件 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种覆盖部件的制造方法，其特征在于，所述覆盖部件是基材表面的至少一部分被DLC膜覆盖而成的，所述制造方法包括DLC膜形成工序，即，向容纳所述基材的处理室内导入至少含有碳系化合物和含氧有机硅系化合物的原料气体，在处理压力为100Pa～400Pa的条件下，对所述基材施加电压，从而使等离子体产生，在所述基材的表面形成DLC膜。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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