[发明专利]辐射剂量测定方法

摘要

这里公开了一种辐射剂量测定方法和用于执行该方法的相关装置。更具体而言，提供了一种补偿辐射剂量测量胶片中辐射敏感材料量的变化的方法和相关设备。

主权项

一种辐射剂量测定方法，包括：(a)提供辐射剂量测定校准胶片，包括衬底和设置于所述衬底上的一层辐射敏感材料，其中所述辐射敏感材料包括辐射敏感活性成分和不透辐射材料；(b)将所述辐射剂量测定校准胶片的离散区域暴露于已知剂量的辐射；(c)在多个彩色响应通道中扫描所曝光的所述辐射剂量测定校准胶片，以利用多个组成彩色通道中的响应来生成数字图像Ic；(d)测量所述数字图像Ic以确定每个组成彩色通道中曝光区域的扫描仪响应值；(e)通过绘制每个组成彩色通道中的所述扫描仪响应值与对应的剂量值的图，并将所述数据拟合到将所述剂量值表达为所述扫描仪响应值的函数的数学函数，从而确定针对每个组成彩色通道的剂量测定校准曲线；(f)提供辐射剂量测量胶片，所述辐射剂量测量胶片包括衬底和设置于所述衬底上的一层辐射敏感材料，其中所述辐射敏感材料包括辐射敏感活性成分和不透辐射材料；在多个彩色响应通道中扫描所述辐射剂量测量胶片，所述测量胶片由暴露至辐射剂量图案的区域构成，以利用多个组成彩色通道中的响应来生成数字图像IM；(g)应用所述剂量测定胶片校准曲线，以利用多条校准曲线将每个位置和每个组成彩色通道处包括所述测量胶片的数字图像的响应分成取决于剂量的部分和不取决于剂量的部分，使得所述组成彩色通道中的辐射剂量值之间的差异最小化，所述取决于剂量的部分包括取决于辐射剂量的多个取决于剂量的值，所述不取决于剂量的部分包括多个独立于辐射剂量的不取决于剂量的值；(h)使用所述取决于剂量的值和所述不取决于剂量的值以生成所述辐射剂量测量胶片的剂量图和相对厚度图；(i)使用所述取决于剂量的值和所述不取决于剂量的值以生成所述辐射剂量测量胶片的所述剂量图中包含的信号噪声的图；(j)确定校正函数以从所述辐射剂量测量胶片的所述剂量图去除所述 信号噪声；以及(k)应用所述校正函数以提供考虑了所述辐射敏感材料的层厚度变化的校正剂量图。