[发明专利]激光束分析装置有效
| 申请号： | 201180028392.7 | 申请日： | 2011-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN103098319A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·J·斯卡格斯 | 申请（专利权）人： | HAAS激光技术公司 |
| 主分类号： | H01S3/10 | 分类号： | H01S3/10;H01S5/0683 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 孙志湧;安翔 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种使得能够实时测量由高功率激光束产生的激光束的空间轮廓、圆度、形心、像散和M2值的装置。本装置采用了在过程应用中使用的光学器件，包括聚焦透镜和覆盖玻璃。衰减模块包括以相对于激光束的共同入射角、以彼此平行隔开的关系设置的一对高反射镜板。束流收集器在该激光束的传播路径之外并且以接收由该第一和第二镜反射的光的关系定位。相机检测通过该第一和第二镜的光的斑点。由高反射性镜对形成的高功率衰减器定位在源和衰减模块之间。第二实施例包括具有高反射性表面的单个镜板。 | ||
| 搜索关键词： | 激光束 分析 装置 | ||
【主权项】：
一种使得能够分析高功率激光束的装置，包括：衰减多斑点模块，所述衰减多斑点模块包括一对高反射镜板，所述一对高反射镜板以相对于激光束的共同入射角、以彼此平行隔开的关系设置；所述对包括第一镜，所述第一镜在其面向所述激光束的源的第一表面上具有抗反射涂层，并且在其背对所述源的第二表面上具有高反射性涂层；所述对包括第二镜，所述第二镜在其背对所述源的第二表面上具有抗反射涂层，并且在其面向所述源的第一表面上具有高反射性涂层；第一束流收集器，所述第一束流收集器在所述激光束的传播路径之外并且以接收由所述第一和第二镜反射的光的关系定位；以及第一相机，所述第一相机用于检测通过所述第一和第二镜的光的斑点；由此所述激光束被充分地衰减，使得所述激光束可以被所述第一相机分析。
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