[发明专利]连结搬运系统

摘要

以往在晶圆等的搬运系统中，预先在装置中设有前室，并且使被搬运物从容器经过前室从而将被搬运物搬运至装置区域，因此，容器与前室的连结需利用复杂的机构来完成。本发明是一种连结系统，其由搬运容器以及具有装置本体和装置门的装置构成，该装置门具备磁铁（26），搬运容器（7）具有可密接连结搬运容器本体（11）和搬运容器门（12）的密封结构，装置（8）具有可密接连结装置本体（13）和装置门（9）的密封结构，而且，搬运容器及装置具有两者可密接连结的密封结构，仅当搬运容器与装置密接连结时，形成密闭化的连结室，且具有搬运容器门从搬运容器分离并被收入装置内的结构，并且，搬运容器本体及搬运容器门具有磁铁及/或磁体（28）、（27），从而构成具有通过它们之间的磁力来关闭搬运容器门和搬运容器的结构的搬运容器。

主权项

一种连结系统，其特征在于，由搬运容器以及具有装置本体和装置门的装置构成，该装置门具备磁铁，搬运容器和装置本体气密地连结，且用于使内容物在它们之间移动所需的门仅设为2个，一个是搬运容器门，另一个是装置门，所述搬运容器具有可通过搬运容器本体与搬运容器门的密接连结而密闭的第1密封结构，所述装置具有可通过所述装置本体与所述装置门的密接连结而密闭的第2密封结构，而且，所述搬运容器及所述装置具有通过两者密接连结而形成的可密闭的第3密封结构，仅当所述搬运容器与所述装置密接连结时，形成通过第3密封结构而密闭化的1个不分割的连结室，且具有所述搬运容器门从所述搬运容器分离并被收入所述装置内的结构，并且，所述搬运容器具有如下结构，所述搬运容器本体及所述搬运容器门分别具有磁铁、磁体、或磁铁及磁体，通过它们之间的磁力来关闭所述搬运容器门和所述搬运容器本体，从而构成在该关闭的状态下利用所述搬运容器本体及所述搬运容器门所具有的磁铁、磁体、或磁铁及磁体而形成有磁闭路的所述搬运容器，具有如下结构，通过利用所述装置门的磁铁的磁力而将所述搬运容器门吸引至所述装置门，从而打开所述搬运容器门，在所述搬运容器门的磁体和所述搬运容器本体的磁体之间设置间隙，且在所述搬运容器门的磁体和所述装置门的磁铁之间也设置间隙，由此来开闭搬运容器门。