[发明专利]固态成像设备和数字照相机

摘要

消除了在一个焦点检测像素对于来自斜右上方向的入射光的灵敏度和另一个焦点检测像素对于来自斜左上方向的入射光的灵敏度之间的差异。在半导体衬底29上方形成OFB层38和低浓度层39。在低浓度层39中形成了构成普通像素30N的PD 40N、构成第一焦点检测像素30R的PD 40R，以及构成第二焦点检测像素30L的PD 40L。位于PD 40R的第一光电转换区域52Ra和PD 40L的第一光电转换区域52La下方的高浓度阻挡层38形成在OFB层38中。由于对半导体衬底29施加电压导致PD 40R和40L的光电转换区域的形状变成非对称，并且PD 40R的光电转换区域对于来自斜右上方向的入射光IR的灵敏度和PD 40L的光电转换区域对来自斜左上方向的入射光IL的灵敏度增加。因为在形成导致表面不平坦的部件，例如，传送电极，之前形成OFB层38，所以防止了由表面不平坦的影响而导致的焦点检测像素30R和30L的灵敏度之间的差异。

主权项

一种固态成像设备，其特征在于包括：半导体衬底；在所述半导体衬底上方形成的杂质层；在所述杂质层上方以预定图案排列的多个像素，所述像素具有用于通过光电转换生成信号电荷并且累积所述信号电荷的光电二极管，所述像素产生通过光学系统形成的被摄体图像的图像信号，所述像素包括至少一对两种类型的焦点检测像素，用于使用相位差方法产生用于光学系统的焦点检测的图像信号；以及在所述半导体衬底和所述两种类型的焦点检测像素之间形成的区域控制层，所述区域控制层使得在所述两种类型的焦点检测像素中的每一个的所述光电二极管中第一光电转换区域和第二光电转换区域中的一个的厚度小于另一个的厚度，所述两种类型的焦点检测像素的所述光电二极管的所述第一光电转换区域彼此面对，在每一个光电二极管中所述第二光电转换区域在所述第一光电转换区域的相对侧。