[发明专利]探针形状检测装置和探针形状检测方法

摘要

探针形状检测装置具有：磁场检测部，其检测由挠性的探针内的电磁线圈产生的磁场；坐标运算部，其根据检测到的磁场计算电磁线圈的三维坐标；移动速度计算部，其根据计算出的三维坐标计算电磁线圈的移动速度；移动平均坐标计算部，其计算电磁线圈的移动平均坐标；以及线圈坐标设定部，其根据计算出的移动速度的比较结果，设定为使用移动平均坐标和由坐标运算部计算出的三维坐标中的一方，作为电磁线圈的三维坐标。

主权项

一种探针形状检测装置，其特征在于，具有：磁场检测单元，其检测通过对设于具有挠性的探针中的电磁线圈施加交流信号而产生的磁场；坐标运算单元，其进行根据由所述磁场检测单元检测到的所述磁场计算表示所述电磁线圈的位置的三维坐标的运算；移动速度计算单元，其根据由所述坐标运算单元计算出的所述三维坐标或传感器的检测信号，计算所述电磁线圈的移动速度；移动平均坐标计算单元，其根据由所述坐标运算单元在规定期间内检测到的所述电磁线圈的多个三维坐标，计算所述规定期间内的移动平均坐标；比较单元，其对由所述移动速度计算单元计算出的所述移动速度和规定阈值进行比较；以及线圈坐标设定单元，其根据所述比较单元的比较结果，设定为使用所述移动平均坐标和由所述坐标运算单元计算出的所述三维坐标中的任意一方，作为所述电磁线圈的三维坐标。