[发明专利]制造光伏太阳能电池的金属接触结构的方法

摘要

本发明涉及一种制造光伏太阳能电池的金属接触结构的方法，包括下述方法步骤：将非导电性绝缘层涂敷于半导体衬底表面上；将金属接触层涂敷于所述绝缘层上；并在半导体衬底和恰好穿过所述绝缘层的接触层之间产生多个局部的导电性连接。所述金属接触层用两种包含金属颗粒的浆料形成：将包含金属颗粒的第一浆料涂敷至多个局部区域；并将包含金属颗粒的第二浆料以平面方式涂敷，以至少覆盖被所述第一浆料覆盖的区域以及至少部分位于其间的区域。作为全面加热半导体衬底的结果，所述第一浆料渗入所述绝缘层，并直接与半导体衬底形成导电性接触；然而所述第二浆料不渗入绝缘层，并仅通过所述第一浆料间接地与所述半导体衬底导电性连接。

主权项

一种用于制造光伏太阳能电池的金属接触结构的方法，包括下列方法步骤：A将非导电性绝缘层(2)涂敷于半导体衬底的表面上，可选地将所述非导电性绝缘层(2)涂敷于覆盖所述表面的一个或多个中间层上；B将金属接触层涂敷于所述绝缘层(2)上，可选地将所述金属接触层涂敷于覆盖所述绝缘层(2)的一个或多个中间层上；以及在半导体衬底(1)和接触层之间生成一个或多个穿过所述绝缘层(2)的，并且可选地进一步穿过中间层的局部的导电性连接；其特征在于，在方法步骤B中，所述金属接触层的形成包含下述方法步骤：B1将包含金属颗粒的第一浆料涂敷在多个局部区域上；B2涂敷包含金属颗粒的第二浆料，使所述第二浆料平整地至少覆盖由第一浆料所覆盖的区域，以及至少部分地覆盖所述由第一浆料所覆盖的区域之间的区域；以及B3在温度步骤中整体加热所述半导体衬底以及至少第一浆料和第二浆料，其中按如下方式来设置第一浆料和第二浆料(4a，4b)以及方法步骤B1之后的所述温度步骤或多个温度步骤，即所述第一浆料(3a，3b)渗入所述绝缘层(2)，并且直接与所述半导体衬底(1)形成导电性接触；而所述第二浆料(4a，4b)不渗入所述绝缘层(2)，并且仅通过所述第一浆料(3a，3b)间接地与所述半导体衬底(1)导电性连接。