[发明专利]有明确电场的电弧蒸发源有效
| 申请号： | 201180030805.5 | 申请日： | 2011-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN102947478A | 公开（公告）日： | 2013-02-27 |
| 发明（设计）人： | S.克拉斯尼策尔;J.哈格曼 | 申请（专利权）人： | 欧瑞康贸易股份公司（特吕巴赫） |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/32;C23C14/35;C23C14/58;C23C14/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 丁永凡;李浩 |
| 地址： | 瑞士特*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电弧蒸发装置，其具有阴极、阳极、电压源，所述电压源把所述阳极相对于所述阴极置于正电位。所述装置还包含磁性介体，所述磁性介体导致在所述阴极表面上的磁场，其中把所述阳极布置在所述阴极附近使得：从所述阴极的表面发出的磁力线到达所述阳极上。 | ||
| 搜索关键词： | 明确 电场 电弧 蒸发 | ||
【主权项】：
一种电弧蒸发装置，具有：‑阴极，该阴极包括具有应当蒸发的材料的表面；‑磁性介体，所述磁性介体导致在所述表面上的磁场；‑阳极，用于吸收在所述蒸发工艺中从所述阴极拉出的电子；‑电压源，该电压源允许至少分时地把所述阳极相对于所述阴极置于正电位；其特征在于，将所述阳极布置在所述阴极附近使得：从所述阴极的表面发出的磁力线如果不从所述表面走到所述阴极的中心区域那么就到达所述阳极上。
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